〒599-8531
大阪府堺市中区学園町1-1
大阪府立大学大学院工学研究科
物質・化学系専攻 化学工学分野
材料プロセス工学グループ

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研究設備

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CVD装置①
CVD装置①
CVD装置②
CVD装置②
CVD装置③
CVD装置③
CVD装置④
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スパッタ装置
スパッタ装置
RTA装置①
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RTA装置②
RTA装置②
Gold Image炉
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小型ボックス炉
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送風定温恒温器
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×2台
セミオートプローバー
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強誘電体テストシステム①
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半導体パラメータ・アナライザ
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パルスジェネレータ―&オシロスコープ
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硬度計
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超微小硬度計
真空グローブボックス
真空
グローブボックス
電気化学顕微鏡
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スピンコーター
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